系统集成了智能控制软件，适用于科研机构、高等院校及生产企业实验室开展化学机械抛光评价、工艺参数优化及质量控制等研究工作。
抛光电解液配方研发，对比不同电解液的抛光载荷稳定性
晶圆抛光工艺参数摸索
电解液批次稳定性检测
抛光电极适配性测试，统一实验标准
参数 | 规格 | 参数 | 规格 | 参数 | 规格 |
最大压力 | 120KPa | 行程 | 20mm | 加力量程 | 6Kg |
压强精度 | ±0.1KPa | 分辨率 | 0.05μm | 精度 | 0.5g |
台面尺寸 | 150×170mm | 重复定位精度 | 2μm | 转速输出信号 | 0~10V，1mV/RPM |
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