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让燃料电池测试更智能

晶圆电镀电化学分析系统

该系统为铜、锡、锡银等多种电镀体系提供可靠的添加剂浓度管控方案,可内置2寸晶圆参与反应,为晶圆的电镀体系提供研究环境。系统配备电化学分析软件,支持灵活的方法编辑。整机结构紧凑,耐蚀性优异,是半导体晶圆电镀液开发的理想工具。



技术优势

1. 封装制程添加剂检测:随着半导体工艺进入“后摩尔时代”,TSV硅通孔、RDL再布线层、凸块制造等先进封装技术对电镀质量提出了更高要求。本仪器为TSV、TGV、RDL、Bumping等先进封装工艺提供了高效可靠的添加剂检测方案,助力工艺优化与良率提升。

 

2. 多种电镀体系分析:本仪器覆盖铜、锡、锡铅、锡银、镍、碱性镀锌等多种电镀体系的添加剂测试,包括但不限于光亮剂、抑制剂和整平剂等,适用于不同制程工艺的电镀槽液质量监测。

 

3. 电镀添加剂研发:系统适用于高校、科研机构及相关工厂电镀添加剂分析的技术研发。

 

 

 


系统参数

项目

规格参数

转速

转速0~9600rpm,电极功率20W

电解池

晶圆专用电解池

控制系统

数字芯片

电化学测试方法

CVS(循环伏安溶出法)、CPVS(循环脉冲伏安溶出法)、LSV(线性扫描伏安法)、CP(计时电位法)、OCP(开路电位法)

电极

可定制电极,可配2寸晶圆


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